硅烷巨成為半導體微電子工藝中使用的最主要的特種氣體,用干各種微電子酒膜制備,包括單品膜，微品，多品、氧化鞋、氛化硅，金屬硅化物等，硅烷的微電子應用還在向縱深發(fā)展:低溫外延，選擇外延，異質(zhì)外延，不僅用干硅器件和硅集成電路，也用干化合物半導體器件(砷化鎵，碳化硅等)。在超晶格量子阱材料制備中也有應用?？梢哉f(shuō)現代幾乎所有先進(jìn)的集成電路的生產(chǎn)線(xiàn)都需用到硅烷。硅烷的純度對器件性能和成品率關(guān)系極大，更高級的器件需要更高純度的硅烷(包括乙硅烷丙硅烷)。所以在半導體行業(yè)，硅烷的應用是非常廣泛的。

但是硅烷會(huì )刺激眼睛。硅烷分解產(chǎn)生無(wú)定型二氧化硅。眼睛接觸無(wú)定型二氧化硅顆粒會(huì )引起刺激。吸入高濃度的硅烷會(huì )引起頭痛、頭暈并刺激上呼吸道，硅烷會(huì )刺激呼吸系統及粘膜。過(guò)度吸入硅烷會(huì )引起肺炎和腎病，這是由于存在結晶二氧化硅的原因。暴露于高濃度氣體中還會(huì )由于自燃而造成熱灼傷，如果硅烷濃度過(guò)高，對現場(chǎng)的工作人員有一定的危害性，不利于健康。

深國安帶SLI2安全認證的在線(xiàn)硅烷氣體檢測儀應用于半導體現場(chǎng)硅烷檢測，24小時(shí)連續在線(xiàn)監測硅烷及溫濕度的測量，可同時(shí)擴展檢測1～6種氣體濃度和溫濕度,現場(chǎng)顯示濃度和超標聲光報警，遠程數據傳輸。采用2.5寸高清彩屏實(shí)時(shí)顯示濃度，選用電化學(xué)氣體傳感器、，國安帶SLI2安全認證的在線(xiàn)硅烷氣體檢測儀先進(jìn)的電路設計、成熟的內核算法處理，取得了多項軟件著(zhù)作磚利和外觀(guān)磚利，國安帶SLI2安全認證的在線(xiàn)硅烷氣體檢測儀可以檢測管道中或受限空間、大氣環(huán)境中的氣體濃度也可以檢測氣體泄漏，還可以檢測高濃度單一氣體的純度。堅固耐用的防爆外殼和氟碳漆表面處理工藝適用于各種危險場(chǎng)所和強酸強堿的腐蝕性環(huán)境，耐磨損，10年內不褪色和掉漆。

深國安帶SLI2安全認證的在線(xiàn)硅烷氣體檢測儀特點(diǎn)

●任何氣體尺寸統一、信號統一、用法統一；
●擴散式、泵吸式兩種采樣方式可選；
●可選配專(zhuān)屬標氣罩，由擴散式氣室變成泵吸式氣室；
●一體泵吸式氣室可選，方便泵吸式采樣；
● 只需對接一次，即可對應1000多種可燃、有毒和揮發(fā)性氣體，一勞永逸；